369-370章：上面的行动！（4000字）（4/4）

院光电所365nm波长光源，单次曝光最高线宽分辨力也达到22nm，这个信息你知道的，但是现在并不稳定，还需要进一步的深化和优化，对此，我向上面申请成立专项光刻机小组，专项解决光源研发所存在的问题。”

“第三个，华卓精科与华青大学的双工件台精度可达1.8纳米，这个有了一定的进展，同样会在光刻机小组里做联合方案解决。”

“最后一个是哈工大的激光干涉仪，这作为第二代浸润式用的不是多轴激光干涉仪而是大尺寸平面光栅量测系统，其分辨率达到了0.05纳米比较第一款只会更加优秀！”

“所以高总你对此不用担心，我们争取在两年之内，把自主可控的自主研发光刻机给搞出来。”

张领导说到的一些内容，有些他是清楚的，而有些他并不是很清楚。

当他听到从国家层面，引进通快公司时。

心中还是不由得微微一喜！

这可是会耗费国家资本的。

但是通快公司，对于自主可控的光刻机研发，真的非常，非常重要。

因为华国科院光电所365nm波长光源，并不是世界上最先进的光源，这可能会耽误很长的一段时间。

如果华国顶层进行设计，那结果就更好了！

更重要的是，专项光刻机小组。

这绝对是重量型信息！

在华国，郑智挂帅！

没有顶层的专项工作小组，下面人根本放不在心中。

高怀钧就算再着急，那都没有用啊！
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