第503章 时间就是金钱！特种气体之难（1/5）
西蓉北郊。
西南特种电气工业公司。
虽然六月末的西蓉，天气十分酷热。
但为了热烈欢迎，远道而来的樱花半导体考察团。
身为公司总经理的汪学斌。
还是无惧炎热，带着公司高层，在办公楼前列队等候。
之所以如此热忱。
当然因为他对这一次的合作交流，抱有非常大的期望。
公司虽然从事工业气体研制生产很多年。
但过去市场需求有限、销售业绩不高，也不太可能下大力气进行相关技术研究。
谁也没想到……
这两年龙国的制造业，像是坐上了火箭似的，增长势头无比迅猛。
金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……
因为工业生产中不少环节，是不能直接暴露于空气之中，需要特殊气体参与反应。
所以制造业越发达，对工业气体的需求量就越大。
如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。
汪学斌还不至于那么头疼。
毕竟这些常用工业气体的加工制备，技术工艺早就相对成熟。
可问题是……
龙国的电子信息产业，发展速度太迅猛了。
为了追求高精度、高质量、高性能，电子信息产业，对工业气体不仅需求量很大，要求还很高。
哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。しgㄚu.Π
于是乎。
有关部门就将工业气体，分成了大宗气体和特种气体这两大类。
将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务，从公司剥离了出去。
让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。
这个任务，真是光荣又艰巨啊！
光荣在于研制特种气体，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。
艰巨在于特种气体，是真不好研制。
就拿生产芯片来说。
从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。
而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。
刻蚀清洗，除了常用的几种特种气体，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。
离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。
掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。
除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。
林林总总加一起。
要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。
需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。
真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。
用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。
而用于电子科技产品的呢？
哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。
而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。
特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提
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